레플리카사이트 SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세 공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다. SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다. SK하이닉스는 “장비 도입을 통해 기존 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 동시에 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 전했다.
AI 연산을 지원하는 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%이었다.
이날 개최된 장비 도입 기념 행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, 차선용 SK하이닉스 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리 반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다. 차 CTO는 “최첨단 메모리를 가장 앞선 기술로 개발해 인공지능(AI) 메모리 시장을 선도하겠다”고 말했다.
김건희 여사가 지난달 12일 구속된 뒤 하루 평균 3회꼴로 변호인 접견을 한 것으로 나타났다. 김 여사는 구속 내내 “건강이 악화했다”고 주장하면서도 변호인은 수시로 만났다.
3일 국회 법제사법위원회 소속 장경태 더불어민주당 의원실이 법무부로부터 제출받은 자료를 보면, 김 여사는 서울 구로구 서울남부구치소 독방에 구금된 지난달 12일부터 지난달 28일까지 총 36차례 변호인 접견을 했다. 접견을 할 수 없는 주말과 공휴일을 제외하면 12일 동안 하루 평균 3회 변호인을 만난 셈이다. 남편인 윤석열 전 대통령은 ‘재구속’된 지난 7월10일부터 같은 달 18일까지 총 16번 변호인을 만났다. 접견일 기준으로 하루 평균 2.3회였다.
김 여사는 이 기간 총 5차례 특별검사 소환 조사를 받았다. 소환 조사를 받은 날에도 김 여사는 변호인 접견을 한 것으로 알려졌다. 구치소에서 변호인 접견은 근무시간인 오전 9시부터 오후 6시까지 시간과 횟수 제한 없이 할 수 있다. 법무부는 김 여사가 변호인 접견을 할 때 소요된 시간은 공개하지 않았는데, 3회 정도 했다면 하루 대부분을 변호인 접견실에서 머물렀다고 볼 수 있다. 이와 관련 김 여사 측은 “여사의 몸 상태가 좋지 못해 길게 면회를 하지 못한다”라고 말했다.
수용자가 변호인을 접견하는 것은 헌법상 보장된 권리다. 다만 김 여사는 “건강이 악화했다”며 특검의 소환조사를 수시로 연기하면서도 변호사 접견은 빈번하게 나섰다. 김 여사는 지난 1일엔 저혈압 증상 등 건강 상태가 악화했다며 서울남부구치소에 외래 진료도 요청했다.
여러 변호인을 접견하는 과정에서 잡음도 생겼다. 김 여사는 지난달 19일 신평 변호사를 접견했는데, 신 변호사가 이후 자신의 페이스북에 “오죽했으면 우리 남편이 계엄을 했겠냐” “(전 국민의힘 대표) 한동훈이 어쩌면 그럴 수가 있었겠느냐” 등 김 여사의 말을 공개했다. 이에 정식 선임된 변호인단이 “사실과 다르다”며 해명에 나서기도 했다.
장경태 의원은 “건강상 이유로 특검 조사를 미루고, 특검 소환조사에는 진술거부권으로 일관하더니 막상 구치소에서는 윤석열보다도 많은 하루 최소 3회 이상 변호인과 접견을 한다는 것은 김건희의 모순을 그대로 보여준다”고 말했다.
3일(현지시간) 포르투갈 리스본에서 발생한 전차 푸니쿨라 탈선 사고로 한국인 여성 1명이 부상한 것으로 알려졌다.
포르투갈의 SIC 방송은 이날 온라인판 기사에서 부상자 중 1명이 한국인 여성으로 현재 상프란시스쿠 자비에르 병원에 입원 중이라고 보도했다.
현지 구조 당국에 따르면 이날 오후 6시쯤 발생한 전차 사고로 지금까지 15명이 숨지고 23명이 다쳤다. 부상자 중 9명은 중태이며 일부는 외국 국적으로 전해지고 있다.
전기를 동력으로 운행하는 이 전차는 ‘푸니쿨라’로 불리며 리스본의 랜드마크 중 하나다. 연간 350만명이 이용하는 관광 명물로 알려져 있다.

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