인스타그램 팔로워 구매 소설 <오즈의 마법사> 캐릭터로 분장한 에버랜드 연기자들이 3일 서울 중구 명동에서 퍼레이드를 펼치고 있다. 삼성물산 에버랜드는 5일부터 가을축제 ‘에버랜드 오브 오즈’를 개최한다.
“인권위에 대한 행정소송이 제기된 점을 안타깝게 생각하며, 결정의 지연에 대해 신청인께 송구한 마음을 갖고 있습니다.”
세계국가인권기구연합(GANHRI) 특별심사를 앞둔 국가인권위원회가 ‘변희수재단’ 법인 설립 심사에 대한 질의에 안타깝고 송구하다고 답변했다. 1년4개월 넘게 법인 설립 허가를 하지 않는 상황에서 허탈하고 어이없는 답변이 아닐 수 없다. 차라리 안창호 인권위원장이 평소 가지고 있던 소신대로 성소수자 혐오에 기반한 의도적인 방해였다고 하는 것이 더 솔직한 답변이었을 것이다.
지난 9월4일, 서울행정법원에서 변희수재단이 제기한 ‘법인 설립 허가 절차 부작위 위법 확인’ 소송 첫 변론기일이 열렸다. 소송을 제기한 지 7개월 만이다. 인권위는 서면 답변서를 제출하는 것도 차일피일 미루다 변론기일 이틀 전 제출했고, 증명자료엔 인권위 상임위원·비상임위원 선출안이 국회에서 부결되었다는 뉴스 기사를 그대로 붙여넣었다. 총 9쪽 분량의 답변서 중 4쪽이 뉴스 기사일 정도로 성의 없는 문서의 전형이었다.
재판이 진행된 시간은 10분을 넘지 않았다. 부당한 상황을 설명하기엔 턱없이 부족한 시간이었다. 인권위 측은 상임위 회의에서 법인 설립 허가 안건을 논의했기 때문에 ‘부작위’가 아님을 강조했다. 유가족을 모욕하고 단체 명예를 훼손하며 무조건 반대만을 외쳤던 김용원 위원의 발언, 안건 반려와 재상정을 반복하며 책임을 회피하려 했던 안창호 위원장의 비겁함은 말하지 않았다. 관련 서류를 제출한 지 9개월이 지난 시점에 소송이 제기되었고, 이후 상임위 회의에서 안건으로 상정되기 시작되었다는 사실은 언급조차 되지 않았다. 무엇보다 인권위 측은 법인 허가 신청 서류가 제출되면 20일 이내 허가 여부를 판단해 신청인에게 통보해야 한다는 내부 규칙이 존재한다는 사실에 대해 명확히 알지 못했다.
인권위는 끝까지 비겁했다. 진실을 회피했고 핑계로만 일관했다. GANHRI 측에 답변한 ‘안타깝고 송구한 마음’은 재판 과정에서 확인할 수 없었다. 재판부는 다음 변론기일 전까지 인권위 측에 상당 기간이 지나도록 법인 허가 결정을 하지 않은 정당한 사유가 무엇인지 설명하라고 요구했고, 상임위 회의록 문서도 공개하라고 했다.
지금 가장 큰 문제는 상임위원 1명이 없어서가 아니라, 안창호 위원장과 김용원 위원처럼 자격 없는 사람들이 의결 권한을 여전히 행사하고 있다는 것이다. 성소수자 관련 진정사건이 위원장 입맛에 따라 처리가 미뤄지고 소위원회 상정마저 가로막히고 있는 현실이 바뀌지 않는 한 변희수재단 법인 설립 허가도 쉽지 않을 것이다. 하지만 비겁함의 끝은 부끄러움일 것이다. 헌법상 보장하는 결사의 자유를 인권위가 앞장서 지연시키고 있는 책임, 부끄러움의 무게는 반드시 지금의 국가인권위원회가 감당해야만 한다.
SK하이닉스가 메모리 업계에서 처음으로 양산용 차세대 극자외선(EUV) 노광장비를 이천 M16 공장에 반입했다고 3일 밝혔다. 치열한 반도체 경쟁 속에서 첨단 제품을 신속하게 개발·공급하기 위한 업계의 핵심 인프라 확보 움직임이 빨라지는 모습이다.
SK하이닉스가 도입한 장비는 네덜란드 반도체 장비업체 ASML의 ‘트윈스캔 EXE:5200B’다. 차세대 노광장비인 ‘하이(High) 뉴메리컬어퍼처(NA·렌즈가 빛을 얼마나 많이 모을 수 있는지 나타내는 수치) EUV’ 가운데 대량 생산을 위한 첫 모델이다. ASML은 첨단 반도체 제조 공정에 필요한 EUV 노광장비를 생산하는 유일한 기업으로 ‘슈퍼 을’로 불린다.
해당 모델은 반도체 업계 전체에서 인텔이 가장 먼저 들여왔고, 메모리 업계에선 SK하이닉스가 처음이다. SK하이닉스는 우선 1대를 도입했다. 가격은 대당 5000억원이 넘는 것으로 전해진다. 삼성전자는 지난 3월 연구·개발용 하이 NA EUV 모델을 도입해 파운드리(위탁생산) 및 메모리 제품 개발에 활용하고 있는 것으로 알려졌다. 향후 삼성전자를 비롯한 다른 메모리 기업들도 양산용 모델을 도입할 것으로 예상된다.
EUV 노광장비는 반도체 원재료인 웨이퍼에 빛을 쏴 미세한 회로 패턴을 그리는 데 사용되는 첨단 제조장비다. 네덜란드 정부가 대중국 수출을 통제하는 품목이기도 하다. 하이 NA EUV는 기존 EUV보다 더 큰 NA를 적용해 해상도를 크게 높였다. 현 수준에서 가장 미세한 회로 패턴 구현이 가능해 선폭 축소와 집적도 향상에 핵심 역할을 할 것으로 기대된다. 다만 새 장비가 실제 대량 생산에 활용되기까진 시간이 걸릴 것으로 보인다.
반도체 제조업체가 생산성과 제품 성능을 높이려면 미세 공정 기술 고도화가 필수다. 회로를 더 정밀하게 구현할수록 웨이퍼당 칩 생산량이 늘어나고 전력 효율과 성능도 함께 개선되기 때문이다. SK하이닉스는 2021년 10나노급 4세대 D램에 EUV를 처음 도입한 이후 최첨단 D램 제조에 EUV 적용을 확대해왔다.
새 장비는 기존 EUV 대비 40% 향상된 광학 기술로 1.7배 더 정밀한 회로 형성이 가능하고 2.9배 높은 집적도를 구현할 수 있다. SK하이닉스는 “장비 도입을 통해 기존 EUV 공정을 단순화하고 차세대 메모리 개발 속도를 높여 제품 성능과 원가 경쟁력을 동시에 확보할 방침”이라며 “고부가가치 메모리 시장에서 입지를 강화하고 기술 리더십을 공고히 할 수 있을 것”이라고 전했다.
AI 연산을 지원하는 고대역폭메모리(HBM) 시장을 선점한 SK하이닉스는 올해 1분기에 이어 2분기에도 글로벌 D램 시장 1위를 차지했다. 시장조사업체 트렌드포스에 따르면 매출 기준 2분기 점유율은 SK하이닉스가 38.7%, 삼성전자가 32.7%, 마이크론이 22.0%이었다.
이날 개최된 장비 도입 기념 행사에는 김병찬 ASML코리아 사장, 차선용 SK하이닉스 최고기술책임자(CTO·부사장), 이병기 제조기술 담당 부사장 등이 참석했다. 김 사장은 “SK하이닉스와 긴밀히 협력해 차세대 메모리 반도체 기술 혁신을 앞당길 수 있도록 적극 지원하겠다”고 말했다. 차 CTO는 “최첨단 메모리를 가장 앞선 기술로 개발해 인공지능(AI) 메모리 시장을 선도하겠다”고 말했다.

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